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问:1.SOS蓝宝石上的硅作为制造智能压力传感器的材料有哪些优点?
 答:1)耐热性好、弹性强度高、绝缘性好(工作温度高);(2)异质外延式硅应变电阻没有p-n结,且为均质搀杂(绝缘阻抗高);(3)可将蓝宝石牢固地焊接在金属和陶瓷上(结构多样化);(4)SOS结构抗辐射能力强。
 问:2.钛/硅-蓝宝石压力传感器为什么可耐高温?

 答:A、选材    蓝宝石是单晶体铝氧化物,是所有氧化物晶体中最硬的,是理想的绝缘体。它具有十分优良的耐高温化学惰性、电敏感性和绝缘性。蓝宝石利用自身原子外延的方式,形成纯净的单晶结构。由于在1000℃的温度范围内,蓝宝石是理想的绝缘体。因此,硅电阻敏感电桥电路的压敏电阻即使在最高温度下,也不会发生短路。

      B、工艺措施    为适应高温条件下的使用,不采用金丝作为电路触点,因为金丝在200℃的温度下,会同硅形成易熔质,所有硅接点都采用铝制。同时,在500℃的范围内,硅(选用很强的合金硅)并不改变自身的弹性特点。将蓝宝石熔焊在钛合金上,必须在850℃左右的温度范围下进行,这就使得钛合金在高温状态下依然具有很好的工作特性。因此,所有使用SOS(蓝宝石上的硅)结构制成的传感器可以在不高于350℃(敏感元件在此温度也是如此)和500℃的温度条件下工作。

      C、从结构上考虑    使用双耐高温钛合金膜片和硬杆连接传感器时,传感器内部硅-蓝宝石敏感元件处于低温区,大大低于介质温度。所以使钛/硅-蓝宝石传感器可以适应高温环境条件下工作。

 问:3.钛/硅-蓝宝石压力传感器为什么可测量粘稠和腐蚀性介质?

 答:为了测量粘稠和腐蚀介质,钛/硅-蓝宝石压力传感器在结构上采用钛合金开放、干式、纯平膜的结构形式。例如MIDA-MG-41和MIDA-MG-42,粘稠液、结晶、粉尘介质只与平膜片接触,而不与钛合金测量膜片和硅-蓝宝石敏感元件直接发生接触。此外,钛及其合金(WTi4和WTi9)本身就是很好的耐腐蚀性材料,在海水中它比不锈钢(316L)还要稳定。当变送器在使用时,只是上述的开放、干式、纯平感压钛合金膜片同被测腐蚀介质接触,所以可用来直接测量粘稠和腐蚀性介质。还可根据用户的特殊要求,定制其他材质的感压膜片(如钽膜片等),用来测量氢或硫化氢等强腐蚀性介质。

 问: 4.钛/硅-蓝宝石压力传感器为什么抗辐射性强?
 答:这是由SOS(蓝宝石上的硅)的独特结构决定的。硅-蓝宝石半导体敏感元件最大优点是:蓝宝石是极好的绝缘体,无P-N结漂移,敏感电阻间不存在击穿电流,对温度变化不敏感,即使在高/低温条件下,也保持着很好的稳定特性。由于在高温熔炼时采用特殊工艺,因此传感元件的敏感度不受γ射线或中子辐射的影响,即:传感器信号在恒压供电的条件下,SOS压敏电阻桥能够承受较大剂量的中子射线或γ射线,具有一定的抗辐射能力。因此,特别适合核工业等领域使用。

 问:5.MIDA系列钛/硅-蓝宝石压力传感器OEM件材质的说明。

 答:俄罗斯钛/硅-蓝宝石压力传感器引压嘴的材质为12X18H10T(与我国相对应的型号1Cr18Ni11Ti)。

 

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